Основные технические характеристики:

  — ускоряющее напряжение: 5, 15 кВ;

  — увеличение: ×15—30  000;

  — разрешение: 30 нм;

  — режимы исследования: стандартный высоковакуумный и режим снятия зарядки с образца (низковакуумный режим);

  — диапазон определяемых элементов — от B (5) до U (92).