Основные технические характеристики:
— ускоряющее напряжение: 5, 15 кВ;
— увеличение: ×15—30 000;
— разрешение: 30 нм;
— режимы исследования: стандартный высоковакуумный и режим снятия зарядки с образца (низковакуумный режим);
— диапазон определяемых элементов — от B (5) до U (92).